1、表面清潔度

產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長點(diǎn)。

2、清洗過程中的問題

鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。

3、工藝的問題

工藝參數(shù)是否有變動，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。

4、靶材的問題

鈦靶是否中毒，檢查和更換。

5、真空腔是否漏氣

進(jìn)行一次撿漏。

6、產(chǎn)品表面氧化

氧化的原因很多，可以自行判斷處理。